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vsport(中国区)官方网站上海首台前道ArF工艺涂胶显影装备Ultra LITH顺遂出机

2022/12/29 9:45:41

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    克日vsport(中国区)官方网站上海（科创板股票代码：688082）首台具有自主知识产权的涂胶显影Track装备Ultra LITH乐成出机，，，，，顺遂向中国海内客户交付公司首台前道ArF工艺涂胶显影Track装备，，，，，该装备由vsport(中国区)官方网站半导体装备(亚太)制造中心完成出货，，，，，这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业手艺的主要一步。。。。。

    别的，，，，，vsport(中国区)官方网站上海将于2023年推出i-line型号装备，，，，，并且公司已最先着手研发KrF型号装备。。。。。前道涂胶显影Track装备Ultra LITH的出货是vsport(中国区)官方网站上海一连拓展产品系列的又一效果，，，，，公司致力于成为晶圆级的工艺解决计划平台，，，，，旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法洗濯装备、电镀装备、无应力抛光装备、立式炉管装备，，，，，及PECVD装备。。。。。
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